液压技术在多线切割机收线轮装置中的应用

【引言】多线切割机是近年来发展非常迅速的一种高效率切割设备,在半导体领域应用广泛。多线切割技术是硅加工行业、太阳能光伏行业内的标志性革新,它替代了原有的内圆切割设备,所切晶片与内圆切片工艺相比具有弯曲度(BOW)、翘曲度(WARP)小,平行度(TAPER)好,总厚度公差(TTA)离散性小,刃口切割损耗小,表面损伤层浅,晶片表面粗糙度小等诸多优点。